簡易檢索 / 檢索結果

  • 檢索結果：共3筆資料 檢索策略： "莊敏宏".ccommittee (精準) and ckeyword.raw="準分子雷射退火"


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    直流脈衝電源磁控濺鍍二氧化矽絕緣膜及全濺鍍製程矽晶粒定位薄膜電晶體之開發
    • 光電工程研究所 /96/ 碩士
    • 研究生： 戴漢昇   指導教授： 葉文昌
    • 本研究開發出全濺鍍鍍膜製程之矽晶粒定位薄膜電晶體，其中以室溫反應性脈衝直流磁控濺鍍法實現了7 MV/cm崩潰電場之氧化矽膜，利用退火後其固定電荷達1.95×1011 cm-2，介面陷阱密度為6.4×…
    • 點閱：317  下載：6 

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    蔽蔭遮罩圖案化製作多晶矽薄膜電晶體
    • 光電工程研究所 /96/ 碩士
    • 研究生： 金大為   指導教授： 葉文昌
    • 成功的利用濺鍍法，配合蔽蔭遮罩沉積薄膜暨圖案化的方式，製作多晶矽薄膜電晶體於玻璃基板上，所製作的TFT On/Off電流比為103，Mobility為10 cm2/V-S， Threshold vo…
    • 點閱：290  下載：2 

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    雷射退火矽膜之晶粒位置控制技術開發
    • 電子工程系 /94/ 碩士
    • 研究生： 柯敦元   指導教授： 葉文昌
    • 本論文以原創且簡易的方式實現矽膜晶粒定位技術，其中分別有針狀型矽島陣列輔助晶粒定位和微透鏡陣列輔助晶粒定位兩種技術。前者，藉由SiON半透光膜輔助，成功的抑制住矽島橫向長晶，只需持續提高吸收係數，矽…
    • 點閱：264  下載：1 
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